400-019-9987
HMDS 預(yù)處理真空系統(tǒng)通過(guò)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液等程式過(guò)程，參數(shù)控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.控制界面：采用日本三菱 PLC+7寸觸摸屏控制系統(tǒng)，程式化運(yùn)行，溫度系統(tǒng)，真空系統(tǒng)， 充氮系統(tǒng)，HMDS 注液系統(tǒng)。
2.控制模塊：控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊，它的作用是控制各個(gè)模塊的動(dòng)作和時(shí)序，完成整個(gè)工藝過(guò)程。
3.內(nèi)膽材質(zhì)：整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級(jí)316L不銹鋼材料制作，無(wú)發(fā)塵材料，適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
4.密封裝置：密封條為高溫硅膠制作，可耐溫不變形，門與箱體連接密封，加強(qiáng)密封效果。
5.加熱裝置：加熱器采用SUS304#被覆無(wú)塵化SHEATHED HEATER壽命長(zhǎng)且無(wú)污染，依據(jù)使用溫度調(diào)整控制,節(jié)約能源。
6.加熱方式：采用無(wú)觸點(diǎn)SCR固態(tài)繼電器控制每段溫區(qū)發(fā)熱管輸出功率大小，接近恒定溫度時(shí)，加熱電流變小，使其恒定溫度。
7.底部結(jié)構(gòu)：萬(wàn)向移動(dòng)福馬一體承重腳輪，固定好位置可落下支撐腳，方便移動(dòng)及固定
8.可視窗：采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實(shí)驗(yàn)情況。
9. 溫度傳感器 采用日制 PT100 鉑金電阻，精度±0.5%，反應(yīng)靈敏，耐高溫。
10.真空系統(tǒng)：雙旋片真空泵、真空組件、壓力測(cè)量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余 HMDS 蒸汽。
11.充氮系統(tǒng)：作用是在置換過(guò)程中，用氮?dú)鈦?lái)逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛，氮?dú)饬髁浚淙霑r(shí)間可控制。
12.HDMS 注液系統(tǒng)：HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，配置不銹鋼藥液管道，使真空箱密封性能極好。
13.保護(hù)系統(tǒng)：相序保護(hù)，漏電保護(hù)，過(guò)載保護(hù)，控制線路，超溫保護(hù)，壓力過(guò)載保護(hù)，急停開(kāi)關(guān)，工作狀態(tài)指示燈。
型號(hào)規(guī)格參數(shù)：
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型號(hào) |
SNR-HMDS-090 |
SNR-HMDS-210 |
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電源電壓 |
220V/50HZ |
380V/50HZ |
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控溫范圍 |
RT+10℃-250℃ |
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溫度分辨率 |
0.1℃ |
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溫度波動(dòng)度 |
≤±0.5℃ |
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真 空 度 |
≤133Pa |
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工作室尺寸（mm） |
W450*D450*H450 |
W560*D600*H600 |
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外形尺寸（mm） |
W850*D700*H1490 |
W960*D850*H1620 |
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層板數(shù)量 |
2塊 |
3塊 |
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功率 |
3KW |
4.5KW |
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